微機電系統的構成既是一個信息系統,也是一個功能系統,主要有微驅動器、微傳感器、微執行器、微處理器和微能源等要素組成。微機電系統微機電系統(MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem)是一種先進的制造技術平臺,微機電系統是在微電子技術和微機械技術基礎上發展起來的多學科交叉的新領域。1、什么是微機電系統,有什么具體的應用?微機電系統微機電系統(MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem)是一種先進的制造技術平臺。它是以半導體制造技術為基礎發展起來的,是集微型機構...
更新時間:2022-08-02標簽: 能源什么是微能源 全文閱讀